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ULVAC爱发科 CCMT-10D 标准型陶瓷隔膜真空计

操作性的提高：通过与PC/智能手机的连接，可以进行设定点设置、状态确认等。

灯丝寿命通知功能：通过监测灯丝功率，可提前通知灯丝寿命。

可连接到不同的测量范围：复合电离真空计可以根据工艺选择测定子。

小型化：与之前的产品相比，实现了尺寸的大幅缩?。刂破魈寤跣?6%），成为同级别最小的产品之一。

更丰富的阵容：除了模拟输出规格和串行通信规格之外，还将增加EtherCAT规格

一台三极管金属电离真空计（正在申请）：即使在恶劣的环境中，真空计的使用寿命也很长。

压力测量范围广：从大气压到高真空范围（1×10+5～1×10-5Pa）（选配SWU10-R的情况下）。

可以精确的测量大气压：可以检查腔体的开启情况（当连接了可选的单元SAU时）。

用途

用于有机EL?触摸屏等制造设备的极限压力确认以及工艺管理用真空炉等各种工业真空设备的极限压力确认

用于在含有多种碳氢化合物（油类）的环境中进行测量

用于在真空零件加工时残留切削油和清洁液的环境中进行测量

用于需要降低测定子更换频率的真空设备

规格

模型		中科大
满量程	CCMT-1000D	133kPa（1×10 ³托，1.33×10 ³毫巴）满量程
	CCMT-100D	13.3kPa（1×10 ²托，1.33×10 ²毫巴）满量程
	CCMT-10D	1.33kPa（10托，13.3毫巴）满量程
	CCMT-1D	133Pa（1 托，1.33 毫巴）满量程
解决		满量程的 0.003%
准确度*1		±0.2％±相对示值的温度系数（该值表示精度零点调整）
温度系数	零电压	0.015 %满量程/℃
	跨度电压	0.01% 电阻/℃
工作温度范围		10 至 50℃（50 至 122 °F）
回应率		30毫秒或更短
气体接触段材质		Al ₂ O ₃、Vacon70 2、SUS316 3、玻璃陶瓷焊料、Ag Ti Cu硬焊料
输入功率		DC14～30V，1W
输出		DC 0 至 10V 满量程
重量		329克
方面		55毫米×117毫米
温度补偿		内部温度补偿电路
电连接器		D-sub 15 针公头（No.4-40，DNC 螺丝）

*1 :非线性、滞后、重复性在 25℃ (77℉) 环境工作温度下，运行 2 小时后无温度影响，调零后
*2 : 28% Ni、23% Co、49% Fe
*3 : 18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe