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ULVAC爱发科 标准型皮拉尼真空计测定子 WP-02(φ15) 日本
ULVAC爱发科 SWT-25(NW25) 电离真空计的测定子
ULVAC爱发科 SWT-16(NW16) 复合电离真空计的测定子
ULVAC爱发科 WP-16(NW16) 通用型真空计测定子
| 测量原理 | 见参数 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 2千-5千 | 量程 | 见参数mbar |
| 应用领域 | 化工,建材/家具,电子/电池,电气,综合 | 真空接口 | 见参数 |
| 序列号 | 176.0755.4908. |
ULVAC爱发科 SP1 真空计测量单元
ULVAC爱发科 SP1 真空计测量单元
操作性的提高：通过与PC/智能手机的连接，可以进行设定点设置、状态确认等。
灯丝寿命通知功能：通过监测灯丝功率，可提前通知灯丝寿命。
可连接到不同的测量范围：复合电离真空计可以根据工艺选择测定子。
小型化：与之前的产品相比，实现了尺寸的大幅缩?。刂破魈寤跣?6%），成为同级别最小的产品之一。
更丰富的阵容：除了模拟输出规格和串行通信规格之外，还将增加EtherCAT规格
一台三极管金属电离真空计（正在申请）：即使在恶劣的环境中，真空计的使用寿命也很长。
压力测量范围广：从大气压到高真空范围（1×10+5～1×10-5Pa）（选配SWU10-R的情况下）。
可以精确的测量大气压：可以检查腔体的开启情况（当连接了可选的单元SAU时）。
用途
用于有机EL?触摸屏等制造设备的极限压力确认以及工艺管理用真空炉等各种工业真空设备的极限压力确认
用于在含有多种碳氢化合物（油类）的环境中进行测量
用于在真空零件加工时残留切削油和清洁液的环境中进行测量
用于需要降低测定子更换频率的真空设备
真空防潮箱由真空泵制造商提供。
传感器规格：如果需要压力
·空白计划降低
·控制板空间节省
·配线简化
确定子更换眼睛
灯丝采用耐腐蚀材料铂
其中一个使用的测量组件（SP1：WP-01,02,03,16）稍后使用
可以输出2个设定点
SP1：压力为0至5 V输出（非输出）
电源电压：24 VDC输入
用于半导体?电子部件等各种制造设备的低真空领域的工艺控制
用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
用于在线式?片叶式等工艺腔室多种的各种制造设备的低真空领域的工艺控制
| 类型 | 传感器单元 |
| 模型 | SP1 |
| 兼容传感器头 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
准确性 | ±15 %（51帕～760帕） |
| ±30 %（10帕～1000帕） | |
| ±50 %（0.4帕～3000帕） | |
| 工作温度范围 | 10～40℃ |
| 测量值输出 | 非线性输出：0至5VDC（最大10V） |
| 设定点 1/2 压力设定调整监视器 | 非线性输出：0至5VDC（最大10V） |
| 控制输出信号 | 开路集电极输出，负逻辑 |
| 错误信号 | |
| 设定点 1/2 | |
| LED 显示屏 | 电源、错误、设定点 1、设定点 2 |
| 电源电压 | DC24V±2V, 90mA（最大） |
| 输入/输出连接器 | D-sub-15P（M2.6螺丝） |
| 重量 | 190g /0.41lb（不包括传感器头） |
标准配件 | 输入/输出连接器 1个 |
| 快速手册 1本 |
IO和模拟GND与电源GND不隔离。
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