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質量流量控制器是測量流體流量并控制流量的裝置。
它用于需要高級流量控制的過程現場。質量流量是指質量流量。流量有兩種類型：體積流量和質量流量。質量流量傳感器測量質量流量，而不是體積流量。
由于質量流量不受流體類型、特性和溫度等環(huán)境條件的影響，因此可以比體積壓力更準確地測量和控制流量。
質量流量控制器的使用
質量流量控制器除了測量流量之外還可以控制流體。此外，由于它可以實現高精度和穩(wěn)定的控制，因此可用于各種過程現場和實驗室。在半導體制造工藝中，用于成膜、蝕刻等工序。除半導體外，還使用光纖、液晶和生物技術等多種產品。在實驗室中，它們還用于控制分析儀器中的載氣。
質量流量控制器由傳感器、旁路、流體控制閥和電路組成。熱式流量傳感器通常用作流量傳感器。流體被傳遞到質量流量控制器內的傳感器和旁路。在傳感器中，流體流經的管道周圍纏繞有加熱器，將管道上游和下游兩側流動的氣體之間的溫差轉換成電信號來測量流量。熱質量傳感器對可發(fā)送到傳感器的流體量有限制。
因此，通過將一部分流量輸送至傳感器，其余流量輸送至旁路，可以保持分流比恒定，從而即使在流量較大時也可以高精度地控制流量。流體控制閥根據傳感器測量的流量來調節(jié)流量。流體控制閥使用電磁執(zhí)行器、熱執(zhí)行器和壓電執(zhí)行器作為執(zhí)行器（將電信號轉換為物理運動的裝置） 。
如何選擇質量流量控制器
為了選擇質量流量控制器，需要考慮氣體類型、最大流量和工作壓力等條件。質量流量控制器是根據所使用的氣體類型來設置的，因此無法對不同的氣體類型進行精確測量。
另外，在腐蝕性氣體的情況下，需要選擇耐腐蝕性高的密封材料。質量流量控制器的流量控制范圍一般為2-100%FS（最大流量），因此需要選擇與所使用的流量相匹配的最大流量。質量流量控制器中使用的流量調節(jié)閥通過閥門開度來調節(jié)流量，因此一次側和二次側之間需要有壓力差。一般以50-300kPa為宜，但壓差太大或太小，都無法正確調節(jié)流量。另外，選擇時可能還需要注意要控制的溫度和接頭。
