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深圳市京都玉崎电子有限公司
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- 袁兰香
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产品介绍
日本TEM-TECH压力传感器HYPFZI-010TS1
日本TEM-TECH压力传感器HYPFZI-010TS1
HYPFZW
集成型气体面板用压力传感器
高精度·对环境变化具有高度稳定性
接触气体部为面向全SUS316L气体面板压力传感器1g压力:-0.1或
0~0.3.0.5.1MPa电流/电压输出，各种集成尺寸的C硅、W硅接触
部:SUS316L
用于半导体制造装置气体面板
产品介绍：
测定流体
半导体工艺气体
接气部材质
光圈:SUS316L(VIM+VAR)传感器单元:SUS316L
测定範囲
0 (-0.1)-0.3、0.5、1MPa
许容限度压力
定格压力x2倍
电源电压
DC24V±10%
直流15~24V
出力信号
4~20mADC(2裸式)
0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC(3线式)
轮合精度
~0.5%FS(直线性、歇斯底里包括可再现性)
温度補償範囲
0~温度:不结冰、不结露
動作温度範囲
0~80度(无结冰、无结露)
温度特性
+/-0.05%FS/度C(温度补偿范围内)
保护等级
IP55相当*室内规格
安装螺钉
C硅、W硅
螺钉尺寸
1.125"1.5(请咨询其他)
电缆取出
可装卸式多治见连接器
附带电缆
3m标准(2芯+屏蔽线)
3m标准(3芯+屏蔽线)
密封方法
特殊电子束焊接
泄漏量
<5x10 12P/秒
内面精细度
Ra:<0.25μm以下
Model: HYPFZW
HYPFZI-420TS2
HYPFZI-420TS1
HYPFZI-420TS3
HYPFZI-420PS1
HYPFZI-420PS2
HYPFZI-420PS3
HYPFZI-420MS1
HYPFZI-420MS2
HYPFZI-420MS3
HYPFZI-105TS2
HYPFZI-105TS1
HYPFZI-105TS3
HYPFZI-105PS1
HYPFZI-105PS2
HYPFZI-105PS3
HYPFZI-105MS1
HYPFZI-105MS2
HYPFZI-105MS3
HYPFZI-010TS2
HYPFZI-010TS1
HYPFZI-010TS3
HYPFZI-010PS1
HYPFZI-010PS2
HYPFZI-010PS3
HYPFZI-010MS1
HYPFZI-010MS2
HYPFZI-010MS3
HYPFZI-005TS2
HYPFZI-005TS1
HYPFZI-005TS3
HYPFZI-005PS1
HYPFZI-005PS2
HYPFZI-005PS3
HYPFZI-005MS1
HYPFZI-005MS2
HYPFZI-005MS3
