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UV臭氧清洗是通過照射能量比作為污染物的有機化合物的結(jié)合能更強的紫外線來分解有機化合物的清洗方法。
在大氣（含氧的環(huán)境氣體）中，通過紫外線照射產(chǎn)生臭氧（O3）和激發(fā)態(tài)活性氧（O）。
活性氧具有的氧化能力，會立即與未結(jié)合的有機化合物發(fā)生氧化反應(yīng)。這會產(chǎn)生簡單的分子，如 CO2、H2O 和 O2，它們從表面蒸發(fā)，同時去除（清潔）有機物質(zhì)。
與使用清洗液的濕式清洗不同，UV臭氧清洗可以減少對環(huán)境的影響，并且不會像使用放電的等離子清洗那樣對工件造成熱量或靜電損壞，具有以下特點。
