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供貨周期	一個(gè)月	規(guī)格	可咨詢
貨號	MFES系列	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合
主要用途	半導(dǎo)體行業(yè)用于供應(yīng)純水和化學(xué)溶液

RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭圓晶加壓 MFES系列（多通道）

規(guī)格：

適用流體：純水、藥液、空氣、真空等
最大壓力：-0.095～0.6MPa
最大通路：8
最大轉(zhuǎn)速：250min-1

主要途徑與特點(diǎn)：

可以真空·干空氣·純水·研磨液等復(fù)數(shù)流體同時(shí)流動。
通常應(yīng)用于CMP設(shè)備

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