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深圳市京都玉崎电子有限公司
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产品简介
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 环保,石油,能源,电子/电池,电气 |
|---|---|---|---|
| 订货号 | 137**1702**3088王生 |
透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蚀剂、ITO等）的膜厚、折射率、消光系数的测量
产品介绍
ULVAC爱发科 精品 便携式 高速光谱 椭偏仪
ULVAC爱发科 精品 便携式 高速光谱 椭偏仪
轻便紧凑的便携式
UNECS系列是一款光谱椭偏仪，可高速、高精度测量薄膜的厚度和折射率。测量方法，实现高速测量和紧凑化。我们提供广泛的产品阵容，以适应不同的应用，包括便携式类型、自动平台类型和与真空环境兼容的内置类型。
UNECS-Portable 是一款便携式型，重量轻、结构紧凑，测量单元重量仅为 2.2 kg，方便携带。包含一个用于小样品的简单固定载物台，并且可以从载物台上拆下以测量大样品。
用途
透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蚀剂、ITO等）的膜厚、折射率、消光系数的测量
特征
高速测量：
采用快照方式，实现了最高速度20ms的高速测量。
兼容可见光谱：
波长范围可选择标准型（530nm~750nm）和可见光谱型（380nm~760nm）。
紧凑的传感器单元：
光发射/接收传感器仅由光学元件组成，没有旋转机构，并且非常轻便和紧凑，并且不需要定期维护。
丰富的产品阵容：
我们拥有可适应各种应用的产品阵容，包括便携式类型、手动/自动平台类型、大型基板类型以及与大气/真空环境兼容的内置类型。
规格
| 波长范围 | 530~750nm、380~760nm（任选其一） | |
| 光斑直径 | φ1mm、φ0.3mm（任选其一） | |
| 入射角度 | 70o固定 | |
| 膜厚再现性 | 1σ = 0.1nm | |
| 膜厚范围 | 1nm?2μｍ | |
| 测量时间 | 受光：20ms ? 3000ms 演算：300ms | |
| 阶段 | 固定式（φ150mm以下、可拆卸） | |
| 控制电脑 | 笔记本型（带操作/分析软件） | |
| 机器构成 | 测量本体（带固定载物台）、控制箱、光源装置 操作电脑（笔记本型）、使用说明书（CD） | |
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