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如何選擇真空計

2024-6-14  閱讀(678)

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在測量真空度時,有壓力接近大氣壓的地方,也有壓力達到超高真空的地方,所以不可能僅用一種真空計來覆蓋。即使考慮到殘余氣體的成分,真空設(shè)備中也存在各種氣體。其中,對真空計產(chǎn)生負面影響的典型是油蒸氣、氧氣、水蒸氣等有機蒸氣。在低真空中,空氣常常殘留,但在中真空和高真空中,油蒸氣的比例增加。此外,有許多真空設(shè)備主要處理水蒸氣,例如用于冷凍干燥的真空設(shè)備。如上所述,真空計的使用條件多種多樣,因此在選擇時,除了測量壓力范圍和目標氣體外,還需要檢查以下項目。 1.檢查是否可以在您想要測量的壓力范圍內(nèi)使用,并檢查導(dǎo)致測量極限的原因。 2、真空計是否被可能測量的氣體污染或損壞? 3. 準確度夠嗎?米大嗎?原則上有什么問題嗎? 4、真空表對氣體狀況有影響嗎?被測氣體是否有可能因反應(yīng)而熱分解或成分發(fā)生變化? 5. 可以測量總壓嗎?靈敏度是否因氣體類型而異? 6. 連續(xù)指令還是電氣指令?可以得到電力輸出嗎? 7. 響應(yīng)時間短嗎? 8. 穩(wěn)定性、再現(xiàn)性、可靠性和壽命是否足夠? 9、安裝、操作、維護、管理是否方便? 10. 市售產(chǎn)品的可獲得性、獲取難度、價格等。

真空標準和可追溯性


真空度校準裝置RT-8SV型

日本的真空標準(初級標準)是安裝在日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所的光波干涉標準氣壓計(大氣壓~10 2 Pa,不確定度±0.7 Pa) 、安裝在國立電子研究所的標準氣壓計技術(shù)。使用安裝的標準 McLeod 真空計(1.3 至 1.3 x 10 -2 Pa,不確定度 ± 2%)作為參考。使用標準麥克勞德真空計的校準是對日本真空協(xié)會要求的亞標準電離真空計燈泡VS-1進行的,該校準真空計具有二級標準(工作壓力范圍2.7×10 -1 ~1.3× 10 -4 Pa,不確定度±3%),是目前的真空計。這通常用作標準并用于校準其他實用真空計。 JISZ8750中詳細說明了校準方法,對于10 -2 Pa至10 -7 Pa左右的應(yīng)用,使用VS-1校準的BA真空計可從制造商處購買。如果按照這樣的方式校準靈敏度,則實際使用的每臺真空計的靈敏度都將達到標準。當建立這樣的系統(tǒng)時,可追溯性被評估為已建立。


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