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EBARA ESA系列真空干泵抽速達(dá)1400L/min～10,000L/min，適合氫氣等輕質(zhì)氣體排氣，以及20,000L/min～80,000L/min排氣量的機(jī)型，適合大型腔室高速排氣；采用緊湊化設(shè)計(jì)，可以選擇耐腐蝕性材料選配件，是MOCVD等大流量輕質(zhì)氣體排氣用途的zuijia選擇。大型機(jī)型兼具大排氣量和靜音低振的優(yōu)點(diǎn)，還可選擇有機(jī)溶劑排氣用選配件。

EBARA ESA系列真空干泵

EBARA ESA系列真空干泵抽速達(dá)1400L/min～10,000L/min，適合氫氣等輕質(zhì)氣體排氣，以及20,000L/min～80,000L/min排氣量的機(jī)型，適合大型腔室高速排氣；采用緊湊化設(shè)計(jì)，可以選擇耐腐蝕性材料選配件，是MO-CVD等大流量輕質(zhì)氣體排氣用途的zuijia選擇。大型機(jī)型兼具大排氣量和靜音低振的優(yōu)點(diǎn)，還可選擇有機(jī)溶劑排氣用選配件，是LCD濺鍍裝置、真空干燥工藝和大型預(yù)真空的zuijia選擇。EBRA真空泵先進(jìn)的控制和監(jiān)測(cè)在半導(dǎo)體等要求苛刻的需求中得到長(zhǎng)時(shí)間驗(yàn)證。

技術(shù)特點(diǎn)：

l 滿足大型真空腔室高速排氣要求

l 低能耗、高抽速

l 選配后可抽取有機(jī)氣體、腐蝕性氣體

l 適合氫氣等輕質(zhì)氣體排氣

l 智能轉(zhuǎn)子 RPM 控制功能，可實(shí)現(xiàn)靈活的氣體通量

l 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)： CE、SEMI-S2/NRTL

典型應(yīng)用：

l LCD、FPD、OLED等行業(yè)

l 高含量輕質(zhì)氣體的真空抽?。ㄈ鏗2）

l 腐蝕性氣體的抽取

l PVD、MOCVD等工藝

l 半導(dǎo)體、光伏制程

技術(shù)參數(shù)：

EBARA ESA系列真空干泵

設(shè)備名稱(chēng)		單位	ESA15-D	ESA25-D	ESA25XW	ESA70W(-D)	ESA70WN(-D)
排氣速度		L/min	1,400 (50Hz)	2,500 (50Hz)	5,000 (50Hz)	7,000 (50Hz)	7,000 (50Hz)
排氣速度		L/min	1,700 (60Hz)	3,000 (60Hz)	6,000 (60Hz)	8,400 (60Hz)	8,400 (60Hz)
極限壓力		Pa	400 (50Hz)	5.3 (50Hz)	5.3 (50Hz)	0.27 (50Hz)	0.4 (50Hz)
極限壓力		Pa	270 (60Hz)	4.0 (60Hz)	4.0 (60Hz)	0.13 (60Hz)	0.27 (60Hz)
連接口徑	吸氣口		NW40	NW50	ISO80	NW50	NW50
連接口徑	排氣口		NW40	NW40	NW40	NW40	NW40
極限壓力時(shí)功率概值		kW	2.9 (50Hz)	2.6 (50Hz)	5.2 (50Hz)	3.6 (50Hz)	3.6 (50Hz)
極限壓力時(shí)功率概值		kW	3.2 (60Hz)	2.9 (60Hz)	5.8 (60Hz)	4.0 (60Hz)	4.0 (60Hz)
冷卻水	流量	L/min	3.5~8	3.5~8	7~16	3.5~8	3.5~8
冷卻水	溫度	℃	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30
N2	流量	Pa•m3/s	14~17 (4.6)	17~20 (3.8)	34~40	24~27 (4.7)	24~27 (4.7)
電源　相／電壓／頻率	200V機(jī)型		三相/200V/50Hz	三相/200V/50Hz	三相/200V/50Hz	三相/200V/50Hz	三相/200V/50Hz
	200V機(jī)型		三相/200-220V/60Hz	三相/200-220V/60Hz	三相/200-220V/60Hz	三相/200-220V/60Hz	三相/200-220V/60Hz
	400V機(jī)型		三相/380-400V/50Hz	三相/380-400V/50Hz	三相/380-400V/50Hz	三相/380-400V/50Hz	三相/380-400V/50Hz
	400V機(jī)型		三相/380-440V/60Hz	三相/380-440V/60Hz	三相/380-440V/60Hz	三相/380-440V/60Hz	三相/380-440V/60Hz
	460V機(jī)型
	460V機(jī)型
電源容量		kVA	6.4	6.4	12.8	10.3	10.3
質(zhì)量概值		kg	240	240	480	380	380

設(shè)備名稱(chēng)		單位	ESA80W-HDF	ESA80WN-HDF	ESA100W	ESA100WN
排氣速度		L/min	8,400 (50Hz/60Hz)	8,400 (50Hz/60Hz)	10,000 (50Hz/60Hz)	10,000 (50Hz/60Hz)
排氣速度		L/min	8,400 (50Hz/60Hz)	8,400 (50Hz/60Hz)	10,000 (50Hz/60Hz)	10,000 (50Hz/60Hz)
極限壓力		Pa	0.13	0.27	0.13	0.27
極限壓力		Pa	0.13	0.27	0.13	0.27
連接口徑	吸氣口		NW50	NW50	NW50	NW50
連接口徑	排氣口		NW40	NW40	NW40	NW40
極限壓力時(shí)功率概值		kW	4.2	4.2	4.9	4.9
極限壓力時(shí)功率概值		kW	4.2	4.2	4.9	4.9
冷卻水	流量	L/min	3.5~8	3.5~8	3.5~8	3.5~8
冷卻水	溫度	℃	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30
N2	流量	Pa•m3/s	54~57	54~57	54~57	54~45
電源　相／電壓／頻率	200V機(jī)型		三相/200V/50Hz	三相/200V/50Hz	三相/200V/50Hz	三相/200V/50Hz
	200V機(jī)型		三相/200-220V/60Hz	三相/200-220V/60Hz	三相/200-220V/60Hz	三相/200-220V/60Hz
	400V機(jī)型		三相/380-400V/50Hz	三相/380-400V/50Hz	三相/380-400V/50Hz	三相/380-400V/50Hz
	400V機(jī)型		三相/380-440V/60Hz	三相/380-440V/60Hz	三相/380-440V/60Hz	三相/380-440V/60Hz
	460V機(jī)型
	460V機(jī)型
電源容量		kVA	12.6	12.6	12.6	12.6
質(zhì)量概值		kg	400	400	400	400

設(shè)備名稱(chēng)		單位	ESA200W	ESA300W	ESA500W	ESA700W
排氣速度		L/min	20,000 (50Hz/60Hz)	28,000 (50Hz)	47,000 (50Hz)	80,000 (50Hz/60Hz)
排氣速度		L/min	20,000 (50Hz/60Hz)	30,000 (60Hz)	50,000 (60Hz)	80,000 (50Hz/60Hz)
極限壓力		Pa	0.53	0.53	0.53	0.5
極限壓力		Pa	0.53	0.53	0.53	0.5
連接口徑	吸氣口		NW80	ISO100	ISO160	ISO160
連接口徑	排氣口		NW40	NW40	NW40	NW50
極限壓力時(shí)功率概值		kW	3.2 (50Hz)	6.6 (50Hz)	5.1 (50Hz)	7.4
極限壓力時(shí)功率概值		kW	3.4 (60Hz)	7.3 (60Hz)	6.7 (60Hz)	7.4
冷卻水	流量	L/min	3.5~8	6~9	6~9	6~9
冷卻水	溫度	℃	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30
N2	流量	Pa•m3/s	17~20 (3.8)	7.5~10.5	8.5~11	8.5~11
電源　相／電壓／頻率	200V機(jī)型		三相/200V/50Hz	三相/200V/50Hz	三相/200V/50Hz	三相/200V/50Hz
	200V機(jī)型		三相/200-220V/60Hz	三相/200-220V/60Hz	三相/200-220V/60Hz	三相/200-220V/60Hz
	400V機(jī)型		三相/380-400V/50Hz	三相/380-400V/50Hz	三相/380-400V/50Hz	-
	400V機(jī)型		三相/380-440V/60Hz	三相/380-440V/60Hz	三相/380-440V/60Hz	-
	460V機(jī)型			三相/440V/50Hz	三相/440V/50Hz	三相/440V/50Hz
	460V機(jī)型			三相/440-480V/60Hz	三相/440-480V/60Hz	三相/440-480V/60Hz
電源容量		kVA	12	23.7	41.3	46.5
質(zhì)量概值		kg	410	700	750	1200

杭州域勢(shì)科技有限公司專(zhuān)注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測(cè)及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案，公司代理經(jīng)銷(xiāo)美國(guó)ALICAT、瑞士Vogtlin、美國(guó)MKS、日本EBARA等品牌，結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案，旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進(jìn)客戶制造工藝、推動(dòng)客戶科研及創(chuàng)新進(jìn)度。

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