目錄:杭州域勢科技有限公司>>Leybold萊寶>>Leybold萊寶真空計>> CTR100Leybold萊寶電容薄膜真空計
| 測量原理 | 基于薄膜與固定電極之間的電容變化進(jìn)行壓力測量 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 1萬-2萬 | 量程 | 1333至1.33×10-5mbar |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,制藥/生物制藥 | 真空接口 | DN 16 ISO KF |
Leybold萊寶電容薄膜真空計（CTR100）
工作原理
l電容測量原理：該真空計基于薄膜與固定電極之間的電容變化進(jìn)行壓力測量。當(dāng)壓力改變時，薄金屬膜會相對于電極位置發(fā)生變化，從而導(dǎo)致電容改變，且電容變化與壓力變化成正比。
l氣體類型無關(guān)性：由于薄膜位置的變化只與壓力有關(guān)，與氣體類型無關(guān)，因此無論測量何種氣體，變送器都能提供相同的輸出信號，無需進(jìn)行氣體校正。
性能特點(diǎn)
l高精度與高重復(fù)性：具有出色的精度，在不同測量范圍有不同的精度表現(xiàn)，如范圍≥1 托時，精確度為讀數(shù)的 0.20%；0.1 托范圍時，精確度為讀數(shù)的 0.50%。同時，測量重復(fù)性好，能為真空測量提供可靠的數(shù)據(jù)。
l良好的溫度補(bǔ)償：無論環(huán)境條件如何變化，都能實現(xiàn)非常好的溫度補(bǔ)償，確保測量結(jié)果不受溫度波動的影響。
l高耐腐蝕性：采用純焊接 Inconel® 和 Incoloy® 鎳合金材料，傳感器高度耐腐蝕性，能抵御常見工藝化學(xué)品、氧化、滲碳、點(diǎn)蝕、縫隙腐蝕、腐蝕開裂和高溫等的侵害，適用于各種腐蝕性環(huán)境。
l快速準(zhǔn)確響應(yīng)：對壓力變化響應(yīng)迅速，在全量程范圍≥1 托時，從全量程的 0% 至 90%，響應(yīng)時間僅為 40 毫秒；對于 0.1 托，從全量程的 0% 至 90%，響應(yīng)時間為 80 毫秒，能夠及時準(zhǔn)確地反映真空系統(tǒng)中的壓力變化。
l高過壓承受能力：具有較高的過壓額定值，能夠承受壓力突變而不會遭受物理損壞或校準(zhǔn)偏移，提高了設(shè)備的可靠性和穩(wěn)定性。
l多種通信接口：配備 RS232 數(shù)字通信接口，可用于設(shè)定變送器參數(shù)并提供實時壓力測量；同時還具有 0-10 伏直流模擬輸出信號，可連接至外部模擬設(shè)備進(jìn)行壓力讀數(shù)或壓力控制。
Leybold萊寶電容薄膜真空計（CTR100）
技術(shù)參數(shù)
型號 | CTR100 |
測量原理 | 電容膜片陶瓷膜片傳感器 |
測量范圍/顯示范圍 | 1000 × 10-1 Torr 100 × 10-2 Torr 20 × 10-3 Torr 10 × 10-3 Torr 1 × 10-4 Torr 0.1 × 10-5 Torr |
精度 | 讀數(shù)的0.2%±溫度效應(yīng) 0.5%的閱讀±溫度效應(yīng)（0.1Torr） |
狀態(tài)指示器 | LED |
超壓限制 | 3.1bar |
防護(hù)等級 | IP40 |
設(shè)定值 | 2 |
最大電纜長度 | 30m(type C) |
電氣連接 | Sub-D, 15 pin |
接口 | 0-10 V, RS 232 |
控制器類型 | GRAPHIX系列 |
功耗 | < 1W |
電壓 | +14～+30 Vdc |
應(yīng)用領(lǐng)域
l半導(dǎo)體行業(yè)：用于半導(dǎo)體制造過程中的薄膜沉積、蝕刻、離子注入等工藝的真空測量和控制，確保工藝的穩(wěn)定性和一致性。
l化學(xué)工業(yè)：適用于化學(xué)氣相沉積（CVD）、真空蒸餾、真空干燥等工藝，以及腐蝕性氣體環(huán)境下的真空測量與控制。
l材料處理：如真空爐、陶瓷燒結(jié)、物理氣相沉積（PVD）等過程中的真空度監(jiān)測和控制，有助于提高材料的質(zhì)量和性能。
l分析儀器：可與電子顯微鏡、熱分析儀、質(zhì)譜儀等分析儀器配合使用，為儀器提供準(zhǔn)確的真空環(huán)境測量。
l其他領(lǐng)域：還可應(yīng)用于 LED 和太陽能電池制造、真空鍍膜、真空包裝等領(lǐng)域的真空測量和控制。
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