目录:杭州域势科技有限公司>>EBARA荏原>>EBARA荏原真空泵>> EV-SA20,EV-SA30EBARA EV-SA系列真空干泵
| 泵轴位置 | 卧式 | 抽气速率 | 28-80l/s |
|---|---|---|---|
| 功率 | 3kW | 极限压力 | 3pa |
| 流量 | 100-300m3/h | 排出口径 | 100mm |
| 输送介质 | 其他 | 叶轮数目 | 单级 |
| 应用领域 | 医疗卫生,环保,电子/电池,航空航天,制药/生物制药 | 重量 | 65-90kg |
EBARA EV-SA系列真空干泵
EBARA EV-SA系列真空干泵
是无需冷却水的小型空冷干式真空泵。尽管属于安装自由度高的小型设计，最大排气速度达到5000L/min，具有节能、低噪的优点，除了用于生产工厂以外，还可用于实验室和研究室等各种不同环境，也是是各种分析仪器和电子显微镜等洁净排气用途的优质选择。
技术特点：
l 小型、轻量、占地面积小
l 风冷
l 节能
l 低噪音
l 双螺杆结构
l 无需维护
l 认证标准： CE、SEMI-S2/NRTL
典型应用：
l 科研实验室
l PVD真空镀膜
l 质谱仪
l 等离子清洗
l 半导体、光伏制程
技术参数：
设备名称 | 单位 | EV-SA20 | EV-SA30 | EV-SA50 | |||||||
排气速度 | L/min | 1,670 | 3,300 | 5,000 | |||||||
极限压力 | Pa | 3.0/ 5.0* | 2.0/ 3.0* | 0.5/1.0* | |||||||
连接口径 | 吸气口 |
| NW40 | NW40 | NW50 | ||||||
排气口 |
| NW40 | NW40 | NW40 | |||||||
极限压力时功率概值 | kW | 0.45 | 0.45 | 0.5 | |||||||
冷却方式 |
| 空冷 | 空冷 | 空冷 | |||||||
电源 | 额定电压 50/60Hz |
| 单相 200-240V | 单相 200-240V | 单相 200-240V | ||||||
电压允许波动范围 |
| ±10% | ±10% | ±10% | |||||||
电源容量 | kVA | 3.0 | 3.0 | 3.0 | |||||||
质量概值 | kg | 65 | 90 | 150 | |||||||
*为气镇打开时数值 | |||||||||||
尺寸图：
型号 | EV-SA20 | EV-SA30 | |
尺寸（mm） | 长 | 584 | 713 |
宽 | 324 | 356 | |
高 | 347 | 347 | |
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