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INFICON UL1000和UL3000氦質(zhì)譜檢漏儀有以下區(qū)別：

性能方面

• 檢測速度：UL3000有著當今市場上極快的泄漏檢測速度。相比之下，UL1000的檢測速度雖也較快，但不如UL3000突出。例如，UL3000的HYDRO - S軟件可消除系統(tǒng)中的水汽，使泄漏檢測過程更加迅速。

• 本底抑制：UL3000的I·ZERO 2.0是智能的抑零功能，可在維持高測量靈敏度時實現(xiàn)快速本底抑制。UL1000雖有 selectable background suppression（I zero）功能，但在本底抑制的速度和智能化程度上可能不如UL3000。

設(shè)計方面

• 外形設(shè)計：UL3000具有低重心、大底輪、符合人體工程學(xué)設(shè)計的手柄和纖薄外殼，即使在狹小的空間內(nèi)也能移動自如。UL1000則更注重緊湊設(shè)計，以確保高機動性，方便進入空間受限的維護區(qū)域。

• 顯示與控制：UL3000采用新型觸摸屏顯示器，可遠距離顯示測量結(jié)果和狀態(tài)信息，還可通過智能手機或平板電腦進行無線控制，無需特殊軟件或應(yīng)用程序。UL1000有可旋轉(zhuǎn)顯示屏、光學(xué)和聽覺泄漏指示，也有可選的遙控器，不過在顯示的便捷性和控制的靈活性上不如UL3000。

適用場景方面

• UL3000：專為滿足半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的專業(yè)要求而開發(fā)，如半導(dǎo)體和光電顯示（包括子部件）的泄漏測試。

• UL1000：適用于工業(yè)真空和半導(dǎo)體制造等多種場景，如工業(yè)真空設(shè)備制造、真空部件或子組件的檢測、真空工具的維護等。

真空系統(tǒng)方面

• UL3000：改進后的真空系統(tǒng)采用低維護真空泵設(shè)計，在大氣壓力下即可檢測泄漏。

• UL1000：有不同的前級真空泵類型選擇，如UL1000采用油封式前級真空泵，UL1000 Fab采用干式壓縮前級真空泵。

價格方面

一般來說，由于UL3000在性能、設(shè)計等方面更為先進，功能也更強大，其價格通常會比UL1000要高。