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紧凑型EBARA荏原EV-S200真空泵EV-S200P/N
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| 泵轴位置 | 卧式 | 抽气量 | 见参数 |
|---|---|---|---|
| 输送介质 | 其他 | 外形尺寸 | 见参数 |
| 叶轮数目 | 单级 | 应用领域 | 石油,能源,电子/电池,电气,综合 |
| 最大工作压强 | 见参数 |
EV-S50P/N EBARA荏原干式真空泵EV-S100
EV-S50P/N EBARA荏原干式真空泵EV-S100
转子设计和空转功能实现了的能效和紧凑性。有助于降低运行成本。此外，还提供耐腐蚀材料选项，以适应各种应用，从装载锁和 SEM 等轻型应用到腐蚀工艺。
荏原株式会社（以下简称“荏原"）精机电子公司藤泽工厂今年5月干式真空泵累计出货量达到15万台。这是自1986年第一台机器发货以来，时隔32年取得的成就。
直到 20 世纪 80 年代，油旋转泵一直是半导体制造工艺中使用的主流真空泵，但随着对更清洁的真空环境的需求随着集成度的提高而增加，我们应用了我们的核心竞争力——旋转机械技术，我们已经将干式真空商业化。在与气体接触的部位不使用密封液的泵。我们的干式真空泵不仅能产生洁净的真空，而且采用非接触式密封结构，减少了维护频率。利用这些功能，应用目前已从半导体和显示器制造扩展到太阳能电池、LED、锂离子二次电池和各种分析设备等广泛的行业。
根据中期管理计划（E-Plan2019）的措施，荏原将在2019年之前启动生产效率大幅提高的干式真空泵全自动化工厂，深化与海外生产基地的合作，并继续响应半导体市场的稳定需求和各领域客户的要求。
便携式EV-PA型等小型节能风冷式、水冷式干式真空泵、实现更高流量的废气处理装置、实现半导体超微细制造的CMP装置、Fan-out等我们将展示对封装技术至关重要的电镀设备，以及消除导致良率下降的晶圆边缘缺陷的斜角抛光设备。
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