泵轴位置	卧式	抽气量	见参数
输送介质	其他	外形尺寸	见参数
叶轮数目	单级	应用领域	石油,能源,电子/电池,电气,综合
最大工作压强	见参数

EBARA荏原干式真空泵高节能性能型

EV-M型

干式真空泵非常适合节能和高负载工艺

兼容高负载流程

兼容高温控制

节能减排

耐腐食性材料标准采用

耐腐蚀性改进选项

不同频率 (50/60Hz) 下具有相同的性能

不含油

提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 兼容

产品介绍

EBARA 的高温技术支持在半导体、液晶和太阳能电池制造过程中产生反应副产物的高负荷工艺。由于其高节能性能，能够支持高负载流程，同时节省能源。另有排量110,000L/min的大排量型号，标配耐腐蚀材料。凭借针对工艺条件量身定制的丰富产品阵容，我们可以应对各种高负载工艺。

规格

模型		单元	EV-M20N	EV-M102N	EV-M202N	EV-M302N	EV-M502N	EV-M505SF	EV-M802N	EV-M805SF	EV-M1205SF
抽速		升/分钟	1,800	10,000	20,000	30,000	5万	5万	8万	8万	110,000
极限压力		出色地	5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
连接直径	进气口		西北40	感光度100	感光度100	感光度100	ISO160	ISO160	ISO200	ISO200	ISO200
连接直径	排气口		西北40	西北40	西北40	西北40	西北40	西北40	西北40	西北40	西北40
极限压力下的近似功率值		千瓦	1.2	1.8	1.9	2.3	2.1	3.9	2.8	4.6	5.3
冷却水	流量	升/分钟	3~8	3~8	3.5~8	4~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8
冷却水	温度	℃	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30	最多 30
氮气	流量	帕•立方米/秒	26~31	26~31	26~31	26~31	28~33	228	28~33	228	34~35
电源相位/电压/频率	200V型号		3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz
电源相位/电压/频率	400V型号		3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	-	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz
电源容量		千伏安	3.3	5.4	6	6.8	7.1	15.7	8.3	19.4	14.2
概略质量		公斤	170	320	360	400	500	580	740	820	870

EBARA荏原制作所介绍：

“荏原的目标是成为一家在全球范围内发展的工业机械制造商，用技术热情地支持世界。"

自 1912 年创业以来，荏原作为以泵为中心的工业机械制造商，为社会和工业基础设施提供支持。此后，荏原的领域稳步扩展到冷却和加热机械、鼓风机、压缩机和涡轮机、废物处理设施的设计、施工和运营管理以及半导体制造设备和设备等领域。

随着业务环境的迅速变化，荏原制定了长期愿景“E-Vision 2030"，描述了荏原在 2030 年想要实现的目标，并在“用技术热情支持世界"的旗帜下，荏原将继续支持社会和世界各地的工业基础设施支持每个人的丰富生活。

未来100年，荏原将继续为社会做出广泛贡献，提供令所有人满意的产品和服务。

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