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當前位置:深圳九州工業(yè)品有限公司>>儀器>>東洋研磨材TOYO>> SMAP-A1東洋研磨材TOYO 打磨機超微細形狀専用機

東洋研磨材TOYO 打磨機超微細形狀専用機

參   考   價: 21000

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號SMAP-A1

品       牌其他品牌

廠商性質經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

更新時間:2025-02-22 14:25:49瀏覽次數(shù):823次

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日本orc半導體光刻機 PPS-8200p1/8300p1
東洋研磨材TOYO 打磨機超微細形狀専用機 
用途:支持各種應用
特長
-寬頻譜光刻 (與菜單連動的 ghi線 gh線, i線的自動切換)
-搭載可變NA功能 (可變?yōu)?.16和0.1)
-最多8Field的拼接設計格式
-光學系統(tǒng)不受感光材揮發(fā)氣體和周圍環(huán)境中化學物質影響

日本orc半導體光刻機 PPS-8200p1/8300p1

東洋研磨材TOYO 打磨機超微細形狀専用機 

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用途:支持各種應用

特長

-寬頻譜光刻 (與菜單連動的 ghi線 gh線, i線的自動切換)

-搭載可變NA功能 (可變?yōu)?.16和0.1)

-最多8Field的拼接設計格式

-光學系統(tǒng)不受感光材揮發(fā)氣體和周圍環(huán)境中化學物質影響

制品規(guī)格


型式
PPS-8200p1/8300p1
wafer尺寸6/8/12 英寸
NA(開口數(shù))0.16、0.1可變
縮小比1:1
Field尺寸52mm × 33mm
光刻波長ghi-Line gh-line i-line(與菜單連動)
視野尺寸6inch
重復對位精度≦0.5 µm(|Ave|+3σ)
裝置尺寸/重量

(W)2,260×(D)3,460×(H)2,500mm / 5,500kg



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-最多8Field的拼接設計格式

-光學系統(tǒng)不受感光材揮發(fā)氣體和周圍環(huán)境中化學物質影響

制品規(guī)格

型式
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wafer尺寸6/8/12 英寸
NA(開口數(shù))0.16、0.1可變
縮小比1:1
Field尺寸52mm × 33mm
光刻波長ghi-Line gh-line i-line(與菜單連動)
視野尺寸6inch
重復對位精度≦0.5 µm(|Ave|+3σ)
裝置尺寸/重量

(W)2,260×(D)3,460×(H)2,500mm / 5,500kg


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