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日本orc半導(dǎo)體光刻機(jī) PPS-8200p1/8300p1

東洋研磨材TOYO 打磨機(jī)緊湊的通用機(jī)

用途：支持各種應(yīng)用

特長

-寬頻譜光刻　(與菜單連動(dòng)的 ghi線 gh線, i線的自動(dòng)切換)

-搭載可變NA功能 (可變?yōu)?.16和0.1)

-最多8Field的拼接設(shè)計(jì)格式

-光學(xué)系統(tǒng)不受感光材揮發(fā)氣體和周圍環(huán)境中化學(xué)物質(zhì)影響

制品規(guī)格

型式	PPS-8200p1/8300p1
wafer尺寸	6/8/12 英寸
NA（開口數(shù)）	0.16、0.1可變
縮小比	1:1
Field尺寸	52mm × 33mm
光刻波長	ghi-Line gh-line i-line(與菜單連動(dòng))
視野尺寸	6inch
重復(fù)對位精度	≦0.5 µm(\|Ave\|+3σ)
裝置尺寸／重量	（W）2,260×（D）3,460×（H）2,500mm / 5,500kg