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日本adwillUV固化型BG表面保護(hù)膠帶E系列的產(chǎn)品介紹

時間:2024/9/3閱讀:473
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日本adwillUV固化型BG表面保護(hù)膠帶E系列的產(chǎn)品介紹


膠帶截圖.png



紫外光固化BG表面保護(hù)膠帶Adwill E系列是紫外光固化BG表面保護(hù)膠帶,可在背磨過程中可靠地保護(hù)晶圓表面,防止因研磨水和研磨碎屑的滲入而污染晶圓表面。 UV照射顯著降低膠帶剝離時的粘合強度,因此不會對晶圓施加應(yīng)力,可用于加工大直徑和薄晶圓。


特殊工藝:DBG






按工藝分類的膠帶應(yīng)用

1.標(biāo)準(zhǔn)

2.超薄研磨(厚度>40μm)

3.微型泵(含墨點)

4.泵(高度<150μm)

5.高泵(高度<250μm)


兼容設(shè)備

 image.png











-標(biāo)準(zhǔn)型(通用型)

1.設(shè)備可靠性高

晶圓表面污染極少,因此背面研磨后無需清洗晶圓。

2.保持高清潔度的生產(chǎn)系統(tǒng)

-薄型/凸塊晶圓兼容型

1.抑制背面研磨后的晶圓翹曲,支撐凸塊晶圓

2.提高晶圓厚度精度 (TTV*)


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