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日本進口orc 半導體光刻機的用途與特長是什么?

時間:2023/8/23閱讀:1059
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日本進口orc 半導體光刻機的用途:

適用于大型板材生產(chǎn)的光刻機

日本進口orc 半導體光刻機特長:


  • 1.對應因熱處理產(chǎn)生高翹曲基板?再布線表面扭曲基板。

  • 2.采用最合適的方法使翹曲基板吸引搬送成為可能。

  • 3.多點計測自動調(diào)焦功能。

  • 4.對應板材伸縮的對位功能。

  • 5.分割全面對位、Shot by Shot(Die by Die)對位、視野縮放功能搭載。


  • 型式PPS-8500
    板材尺寸510 x 515mm(Max)
    解像力2.0 µmL/S(感光材厚2.0 µm)
    NA(開口數(shù))0.16、0.1可變
    縮小比1:1
    Field尺寸52mm × 33mm
    光刻波長ghi-Line gh-line i-line(與菜單連動)
    視野尺寸6inch
    重復對位精度≦1.0 µm(|Ave|+3σ)
    裝置尺寸/重量(W)3,000×(D)4,800×(H)2,500mm / 11,000kg




總結:對應板材生產(chǎn)功能,搭載豐富的生產(chǎn)功能,

  • 采用最合適的方法使翹曲基板吸引搬送成為可能


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