触屏激光尘埃粒子计数器是一种基于光散射技术的精密仪器,广泛应用于洁净度检测和空气质量控制领域。
一、触屏激光尘埃粒子计数器科学原理
1. 核心工作机制——Mie散射理论
当激光束照射到空气中悬浮的颗粒物时,会发生光散射现象(遵循Mie理论)。不同粒径的粒子会产生特定强度的光信号:
小颗粒(<1μm):以瑞利散射为主,散射光强随粒径增大而增强;
大颗粒(>1μm):符合几何光学规律,散射光强趋于稳定。
通过测量散射光的强度分布,可反推出粒子的大小和数量浓度。
2.校准与补偿算法
内置ISO 21501-4标准参考物质进行定期自校准,修正温度漂移导致的误差;
应用Shephard修正因子消除重叠通道间的干扰,提升多分散体系的测量精度。
二、触屏激光尘埃粒子计数器实际应用场景
1.半导体制造行业
工艺环境监控:在晶圆清洗、光刻等工序段持续监测Class 1~10级无尘室中的≥0.1μm微粒污染水平;
设备性能验证:评估FFU风机过滤单元的效率衰减情况,指导滤芯更换周期优化;
故障诊断支持:突发性粒子超标报警可定位到具体工具机的异常振动源或材料破损点。
2.生物医药领域
GMP车间动态分级测试:对无菌灌装线的层流罩进行在线监测,确保符合EU GMP Annex 1要求;
灭菌效果验证:比较辐照前后空气中微生物载体粒子的变化量,间接反映Cobalt-60灭菌穿透性;
隔离系统完整性检查:通过挑战测试检测手套端口等关键部位的泄漏风险。
3.材料科学研究
纳米粉体表征:分析气相合成法制备的碳纳米管团聚状态及其空气动力学直径分布;
喷雾干燥优化:实时反馈雾化过程中液滴固化形成的微球粒度均一性指标PDI值;
过滤器研发测试:评价新型静电纺纳米纤维膜对超细颗粒物的截留谱图特征。
4.工业过程控制
IAQ管理:办公大楼通风系统的PM2.5/PM10浓度梯度测绘,指导新风量调节策略制定;
印刷车间防爆预警:监控调墨区可燃性粉尘云的形成阈值,联动联锁装置切断点火源;
食品包装线卫生审计:量化生产线上方沉降菌携带的惰性颗粒污染物基数。

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