TruePix EBSD开启晶体学表征的集成化未来

阅读：59 发布时间：2025-4-14

电子背散射衍射（EBSD）技术是一种基于扫描电子显微镜的强大晶体学分析工具，可用于晶粒取向鉴定、相鉴定、晶界识别、织构分析、应力和应变分析，晶粒大小和形态分析，动态过程研究，三维晶体分析等。

现代EBSD技术在20世纪90年代初取得了商业化突破并成功进入市场，经过三十多年的发展，EBSD的广泛应用还面临一些挑战，包括工作流程复杂，分析敏感材料困难，需要有经验的技术人员参与等，为了应对这些挑战并使EBSD技术更加普及，赛默飞世尔科技重磅推出Thermo Scientific™ TruePix™ EBSD探测器，这是一款集高速与高灵敏度为一体的直接电子探测器。TruePix探测器与Apreo ChemiSEM扫描电子显微镜和TrueSight能谱仪工作流程无缝配合，一体化地实现形貌观察、元素分析以及晶体学分析。

产品介绍

TruePix EBSD是一款搭配在Apreo ChemiSEM扫描电镜上的混合像素直接电子探测器，直接电子探测器像素尺寸为256 x 256，TruePix探测器的发布实现了在同一个计算机平台上进行SEM、EDS和EBSD测试，无需外部电子束控制或电脑间的通讯连接，即可实现快速安全操作，最高可实现采集速度2000pps。

TruePix探测器采用了混合像素直接电子探测器, 由于直接电子探测器能够直接记录电子信号，而不需要中间的磷光屏或光学传输，从而减少了信号损失，因此具有更高的探测效率。

TruePix直接电子探测器

TruePix混合像素探测器由256x256像素点组成。每个像素点都有独立的电路，且能进行单电子计数，直接电子探测器相比传统的背散射电子衍射仪有以下主要优势：

更高的探测效率和信噪比。直接电子探测器能够直接记录电子信号，而不需要中间的磷光屏或光学传输，避免了电子到光子转换过程中的噪声和信号损失，具有更高的探测效率和信噪比。

低电子剂量分析。由于直接电子探测器对信号的采集更灵敏，适用于低电子剂量下的样品分析，特别是电子束敏感样品的分析，同时EBSD空间分辨率也得到提升。

电子计数模式。用户可在采集软件中设置能够被接收的电子能量阈值，也可读取每个像素中的中位电子数。

集成一体化

此外，赛默飞推出的TruePix探测器的发布使得SEM与EBSD探测器、后期图像处理软件能整合在同一平台，带来更便捷的操作和更好的用户体验。

TruePix 探测器的硬件、软件与扫描电镜集成，省去了不同电脑之间的通讯时间，缩短数据获取时间。

由于TruePix EBSD与SEM整合，在不同的样品工作距离和探头距离下，它都能准确识别扫描电镜的工作条件，自动进行花样中心校准，从而省去了多余的校准步骤，TruePix可以在电子枪开启后最短时间进入工作状态。

TruePix EBSD在不同的WD和DD下都有很高的标定率

赛默飞提供EBSD样品制备、EBSD采集、

数据处理一系列完整的工作流程

EBSD样品制备的质量直接影响数据的准确度和标定率。EBSD花样采集过程中，衍射信号来自样品表面以下几十纳米的深度范围，用于EBSD测试的样品需表面平整、清洁且没有残余应力，否则会影响衍射花样的采集以及EBSD的后续分析。常见的用于EBSD样品制备的方法有机械抛光、电解抛光、FIB样品制备及氩离子抛光。其中氩离子抛光是一种样品适用性高的方法，赛默飞世尔科技推出的CleanMill氩离子抛光仪能与Apreo ChemiSEM以及TruePix EBSD集成在一个工作流程中，即使对于空气敏感样品和电子束敏感样品也能轻易解决其痛点。