fei扫描电镜是一种常用的高分辨率扫描电子显微镜。它利用电子束与样品相互作用产生的信号来获得样品的形貌和结构信息。
fei扫描电镜的工作原理基于电子物质相互作用和成像原理。在扫描电中，电子源产生一个高亮度的电子束，并通过一系列的电子透镜系统聚焦到极小的尺寸。这个电子束被称为原始电子束。
当原始电子束与样品表面相互作用时，会发生多种相互作用，包括散射、吸收和退火等。这些相互作用产生的不同信号由探测器捕获和分析，从而生成图像。
fei扫描电镜的工作过程可以分为四个主要步骤：电子发射、聚焦、扫描和信号检测。
1、电子发射：
使用一种称为场发射的机制来产生电子束。通常使用一种称为斯巴郎锗(Schottky)型电子源。在该电子源中，一个针状的钨丝被加热到高温，以激发钨表面的电子发射。这些发射的电子经过加速电压后形成原始电子束。
2、聚焦：
原始电子束通过一系列的透镜系统进行聚焦，以使电子束的直径变得非常小。这些透镜通常包括准直透镜、偏转透镜和目标透镜等，它们通过调整电场或磁场对电子束进行聚焦，从而提高分辨率和聚焦深度。
3、扫描：
聚焦后的电子束通过扫描线圈进行控制，在样品表面上沿规定的路径进行快速扫描。扫描模式可以是点扫描或线扫描，取决于所需的图像。
4、信号检测：
当电子束与样品交互作用时，会产生多种信号，如二次电子(SE)和反射电子(BSE)。这些信号被称为探测器捕获，然后通过信号处理和放大来生成图像。SE信号提供样品的表面拓扑信息，而BSE信号则提供关于样品组成和密度变化的信息。
fei扫描电镜利用电子束与样品相互作用和信号检测来获取高分辨率的表面形貌和组成信息。它的原理基于电子物质相互作用和成像原理，并通过电子发射、聚焦、扫描和信号检测等步骤实现。这种技术在材料科学、生物学、纳米技术等领域具有广泛的应用。
3
立即询价
您提交后，专属客服将第一时间为您服务