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扫描电子显微镜的五大组成系统介绍

阅读:890      发布时间:2023-3-20
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扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM),简称扫描电镜,是功能强、用途广的材料表征工具,已广泛应用于材料,冶金,矿物,生物学等领域。扫描电子显微镜主要由五大系统组成,即电子光学系统、信号探测处理和显示系统、样品室、真空系统、电源供给系统。

1 电子光学系统

由电子枪,电磁透镜,扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束,作为信号的激发源。为了获得较高的信号强度和图像分辨率,扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。

2 信号收集及显示系统

检测样品在入射电子作用下产生的物理信号,然后经视频放大作为显像系统的调制信号。现在普遍使用的是电子检测器,它由闪烁体,光导管和光电倍增器所组成。

3 样品室

主要部件是样品台。它能夹持一定尺寸的样品,并能使样品进行三维空间的移动,还能倾斜和转动,以利于对样品上每一特定位置进行各种分析。


4 真空系统

真空系统的作用是为保证电子光学系统正常工作,防止样品污染,一般情况下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。

5 电源系统

电源系统由稳压,稳流及相应的安全?;さ缏匪槌桑渥饔檬翘峁┥璧缇蹈鞑糠炙璧牡缭?。

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