1 电子光学系统
由电子枪,电磁透镜,扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束,作为信号的激发源。为了获得较高的信号强度和图像分辨率,扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。
2 信号收集及显示系统
检测样品在入射电子作用下产生的物理信号,然后经视频放大作为显像系统的调制信号。现在普遍使用的是电子检测器,它由闪烁体,光导管和光电倍增器所组成。
3 样品室
主要部件是样品台。它能夹持一定尺寸的样品,并能使样品进行三维空间的移动,还能倾斜和转动,以利于对样品上每一特定位置进行各种分析。
4 真空系统
真空系统的作用是为保证电子光学系统正常工作,防止样品污染,一般情况下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。
5 电源系统
电源系统由稳压,稳流及相应的安全?;さ缏匪槌桑渥饔檬翘峁┥璧缇蹈鞑糠炙璧牡缭?。
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