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　　场发射扫描电子显微镜具有超高分辨率，具有高性能X射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力，能做各种固态样品表面形貌的二次电子象、反射电子象观察及图像处理。
 

　　场发射扫描电子显微镜的工作原理：
 

　　场发射扫描电子显微镜的原理是利用二次电子或背散射电子成像，对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察，同时利用电子激发出样品表面的特征X射线来对微区的成分进行定性定量分析，是材料研究分析中一双亮丽的“眼睛”。
 

　　场发射扫描电子显微镜的主要优点：
 

　　1、有较高的放大倍数，20-30万倍之间连续可调；
 

　　2、有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；
 

　　3、试样制备简单，目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪(EDS)装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析。
 

　　场发射扫描电子显微镜适用于对金属、陶瓷、半导体、矿物、生物、高分子、复合材料和纳米级一维、二维和三维材料的表面形貌进行观察(二次电子像、背散射电子像)；可进行微区的点、线、面成分分析；元素在形貌上成象；晶体材料的晶体取向及微区取向分析、结构分析、正反极图、欧拉空间分析等；图象定量分析。