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| 型式 Model | DPS-2-ZA | DPS-2-ZB | DPS-3-ZA | DPS-3-ZB | DPS-4-ZA | DPS-4-ZB |
| 擴(kuò)散泵 Di-usion pump | 70L/s | 150L/s | 250L/s | |||
| 輔助泵 Roughing pump | DW-60 | USW-50N | DW-120 | USW-100N | DW-120 | USW-150N |
| 到達(dá)壓力 Ultimate pressure | ×10 -4Pa *3 | |||||
| 起動(dòng)時(shí)間 Start time | 17 min *2 | 22 min *2 | ||||
| 吸氣口徑 Suction connection port | VF-50 | VF-80 | VF-100 | |||
| 所要電力（AC) Power supply | 100V 15A | 100V 15A×2 *4 | ||||
| 質(zhì)量 Weight | 約57kg | 約60kg | 約68kg | 約70kg | 約70kg | 約80kg |
| 外形寸法（W×D×H) Outer dimensions(mm) | 600×400×935 | 600×400×995 | 600×400×1095 | 600×400×1030 | 600×400×1130 | |
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