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该设备由真空室、真空机组和电气系统组成
1. 真空室
圆形形腔体，侧部抽气，正面开门。不锈钢材质，配 DN60 观察窗（含防污挡板）、预抽接口、充气接口； 内部有底板、蒸发源等；
2. 真空系统及进气
采用 110L 分子泵+4L 旋片式机械泵。采用真空波纹管连接，配有复合式数显真空测量仪表。
3. 电气系统
电气系统包括真空机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。有安全互锁机构，有效防止误操作发生。系统配有 1 套蒸发电源，数显。
4. 膜厚测量装置：采用石英晶振膜厚仪及水冷探头一套（选配）。
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