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·高性能和高性價比的科學(xué)研究級AFM
·支持多種工作模式和多種功能模塊擴(kuò)展，滿足絕大多數(shù)的基礎(chǔ)科研應(yīng)用
·開放式的結(jié)構(gòu)設(shè)計，支持更多定制化的功能選擇
·XYZ三軸獨(dú)立閉環(huán)壓電陶瓷掃描器，同時實現(xiàn)高精度的定位和高分辨掃描測量
·閉環(huán)壓電陶瓷掃描測量無需非線性校正，納米表征和測量精度優(yōu)于99.5%
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
(科研型) |
原子力顯微鏡 |
FM-Nanoview R-AFM |
產(chǎn)品特色 Product Feature |
·高性能和高性價比的科學(xué)研究級AFM ·支持多種工作模式和多種功能模塊擴(kuò)展，滿足絕大多數(shù)的基礎(chǔ)科研應(yīng)用 ·開放式的結(jié)構(gòu)設(shè)計，支持更多定制化的功能選擇 ·XYZ三軸獨(dú)立閉環(huán)壓電陶瓷掃描器，同時實現(xiàn)高精度的定位和高分辨掃描測量 ·閉環(huán)壓電陶瓷掃描測量無需非線性校正，納米表征和測量精度優(yōu)于99.5% 技術(shù)參數(shù) Technical Parameters |
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掃描范圍 | XY閉環(huán)100*100um，Z閉環(huán)10 um | 系統(tǒng)噪音水平 | RMS≤30 pm |
掃描分辨率 | XY閉環(huán)0.2nm， Z閉環(huán)0.04nm | 圖像采樣點(diǎn) | 最高4096*4096 |
掃描速度 | 0.1Hz~100Hz | 減震方式 | 氣浮式減震臺或主動式減震臺 |
標(biāo)準(zhǔn)成像模式 | 接觸模式、輕敲模式、相位成像、測向力模式（LFM） | ||
力學(xué)測量模式 | F-Z力曲線、RMS-Z曲線、高級力譜成像、力學(xué)Mapping測量 | ||
電學(xué)測量模式 | 靜電力模式（EFM）、導(dǎo)電力模式（C-AFM）、開爾文探針力模式（KPFM）、壓電力模式（PFM）、掃描電阻模式（SSRM）、掃描電容模式（SCM） | ||
磁學(xué)測量模式 | 磁力模式（MFM）、可調(diào)制外加磁場 | ||
納米刻蝕功能 | 力學(xué)刻蝕、電學(xué)刻蝕 | ||
環(huán)境控制功能 | 液體成像模式、密閉氣氛控制模式（特殊氣體）、冷熱一體溫控模式（-20℃~200℃）、電化學(xué)測量模式 | ||
光學(xué)輔助功能 | 可適配體視顯微鏡、正置金相顯微鏡、倒置生物顯微鏡聯(lián)用 | ||
n 應(yīng)用案例 Application Case |
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