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◆ 光學(xué)金相顯微鏡和原子力顯微鏡一體化設(shè)計(jì)，功能強(qiáng)大
◆ 同時(shí)具備光學(xué)顯微鏡和原子力顯微鏡成像功能，兩者可同時(shí)工作，互不影響
◆ 同時(shí)具備光學(xué)二維測(cè)量和原子力顯微鏡三維測(cè)量功能
◆ 激光檢測(cè)頭和樣品掃描臺(tái)集成一體，結(jié)構(gòu)非常穩(wěn)定，抗干擾性強(qiáng)
◆ 精密探針定位裝置，激光光斑對(duì)準(zhǔn)調(diào)節(jié)非常簡(jiǎn)便
◆ 單軸驅(qū)動(dòng)樣品自動(dòng)垂直接近探針，使針尖垂直于樣品掃描
◆ 馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測(cè)的智能進(jìn)針?lè)绞剑Ｗo(hù)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
原子力顯微鏡（光學(xué)一體機(jī)） |
FM-Nanoview Op-AFM |
◆ 光學(xué)金相顯微鏡和原子力顯微鏡一體化設(shè)計(jì)，功能強(qiáng)大
◆ 同時(shí)具備光學(xué)顯微鏡和原子力顯微鏡成像功能，兩者可同時(shí)工作，互不影響
◆ 同時(shí)具備光學(xué)二維測(cè)量和原子力顯微鏡三維測(cè)量功能
◆ 激光檢測(cè)頭和樣品掃描臺(tái)集成一體，結(jié)構(gòu)非常穩(wěn)定，抗干擾性強(qiáng)
◆ 精密探針定位裝置，激光光斑對(duì)準(zhǔn)調(diào)節(jié)非常簡(jiǎn)便
◆ 單軸驅(qū)動(dòng)樣品自動(dòng)垂直接近探針，使針尖垂直于樣品掃描
◆ 馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測(cè)的智能進(jìn)針?lè)绞?，保護(hù)探針及樣品
◆ 超高倍光學(xué)定位系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)探針和樣品掃描區(qū)域精確定位
◆ 集成掃描器非線性校正用戶編輯器，納米表征和測(cè)量精度優(yōu)于98%
◆ 技術(shù)參數(shù) Technical Parameters
工作模式 | 接觸模式、輕敲模式 | 光學(xué)目鏡 | 10X |
選配模式 | 摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力/靜電力 | 照明方式 | LED柯勒照明系統(tǒng) |
力譜曲線 | F-Z力曲線、RMS-Z曲線 | 光學(xué)調(diào)焦 | 粗微動(dòng)手動(dòng)調(diào)焦 |
XY掃描范圍 | 50×50um，可選20×20um，100×100um | 攝像頭 | 500萬(wàn)像素CMOS傳感器 |
Z掃描范圍 | 5um，可選2.5um，10um | 顯示屏 | 10.1寸平板顯示器，帶圖像測(cè)量功能 |
掃描分辨率 | 橫向0.2nm，縱向0.05nm | 掃描速率 | 0.6Hz~30Hz |
樣品尺寸 | Φ≤68mm，H≤20mm | 掃描角度 | 0~360° |
樣品臺(tái)行程 | 25×25mm | 運(yùn)行環(huán)境 | Windows XP/7/8/10操作系統(tǒng) |
光學(xué)物鏡 | 5X/10X/20X/50X平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡 | 通信接口 | USB2.0/3.0 |
◆ 應(yīng)用案例 Application Case
GaN襯底/掃描范圍3µm×3µm 單晶硅金字塔/掃描范圍30µm×30µm
微米光柵/掃描范圍30µm×30µm MoTe/掃描范圍16µm×16µm