目录:广州金程科学仪器有限公司>>等离子表面处理仪>>等离子清洗机>> CIF-TEMTEM透射电镜样品杆等离子清洗机
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 能源,电子/电池,航空航天,电气,综合 |
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广州金程科学仪器公司供应的TEM透射电镜样品杆等离子清洗机CIF-TEM采用远程离子清洗源设计，清洗快速高效，低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。主要用于 TEM 透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏。
仪器特点：
远程离子清洗源
一机多用
清洗快速高效，低轰击损伤
技术参数：
产品型号 | CIF-TEM |
等离子电源 | 13.56MHz等离子射频电源，射频功率5-150W可调 |
远程等离子源，自动匹配器 | |
清洗室 | 清洗室尺寸0180xH100mm |
清洗数量 | 可同时清洗3支TEM样品杆 |
适配品牌 | 美国THERMO FISHER(FEI)、日本日立(HITACHI)、日本电子(JEOL) |
气体控制 | 标配单路质量流量计(MFC)可选双路。0-500sccm/分，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
气源选择 | 根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
真空控制 | 皮拉尼真空计，测量范围1.0E-5Pa~1E+5Pa |
真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 | 7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
真空泵 | 前级泵 |
抽气速率2.5 m3/h | |
分子泵 | |
极限真空：LF<8*10?Pa,CF<8*10'Pa | |
分子泵抽速85L/s(N?) | |
入口法兰：DN63 ISO-K(LF)/CF | |
质量保证 | 二年质保，终身维护 |
电 源 | AC220V、50/60Hz,300W |
产品尺寸 | L565xW505xH560mm |
包装尺寸 | L715xW655xH820mm |
整机重量 | 68kc |
TEM透射电镜样品杆等离子清洗机CIF-TEM信息由广州金程科学仪器有限公司为您提供。
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