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目录:广州金程科学仪器有限公司>>炉式设备>>管式炉>> TFE-1200-50-I-220TFE等离子化学气相沉积单温区PE-CVD管式炉

TFE等离子化学气相沉积单温区PE-CVD管式炉
  • TFE等离子化学气相沉积单温区PE-CVD管式炉
参考价 面议
具体成交价以合同协议为准
参考价 面议
具体成交价以合同协议为准
  • 品牌 科幂仪器
  • 型号 TFE-1200-50-I-220
  • 厂商性质 代理商
  • 所在地 广州市
属性

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更新时间:2025-07-23 10:22:04浏览次数:1941评价

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产地类别 国产 加热方式 K型热电偶,集成式触摸屏控制
价格区间 面议 控温精度 ±1℃℃
内部尺寸 Ф30/50/60/1200mmmm 升温速度(达到最高温) ≤10℃/min/min
仪器种类 管式炉 应用领域 化工,电子/电池
最大功率 3000kW 最高温度 1100℃
广州金程科学仪器公司供应科幂TFE等离子化学气相沉积单温区PE-CVD系统TFE-1200-50-I-220。高性能射频电源,等离子体更稳定?;焓浇峁鼓苁拐龇从η皇叶即τ诨怨獠⒖墒迪挚焖偕潞徒滴鹿δ?。TFE等离子化学气相沉积单温区PE-CVD管式炉

广州金程科学仪器公司供应科幂TFE等离子化学气相沉积单温区PE-CVD系统TFE-1200-50-I-220。高性能射频电源,等离子体更稳定。滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区,并可实现快速升温和降温功能。TFE等离子化学气相沉积单温区PE-CVD管式炉

 

 

等离子化学气相沉积单温区PE-CVD系统特点:

 

高性能射频电源,等离子体更稳定;

 

滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区,并可实现快速升温和降温功能;

 

与传统CVD相比较,生长温度更低

 

等离子化学气相沉积PE-CVD系统.jpg

 

等离子化学气相沉积单温区PE-CVD系统参数:

型号:

TFE-1200-50-I-220

炉管尺寸:

Ф30/50/60/1200mm

腔膛尺寸:

Ф80*220mm

最高温度:

1150℃(短期)

工作温度:

1100℃

升温速率:

≤10℃/min

控温精度:

±1℃

加热区长度:

220mm

恒温区长度:

80mm

加热原件:

优质电阻丝

额定功率:

3kW

供气系统:

三路高精度MFC量程0~500sccm(可定制)

温控系统:

K型热电偶,集成式触摸屏控制

射频电源:

射频功率:5~500W;

射频频:13.56MHz;

匹配方式:自动匹配

真空系统:

双极旋片真空泵(可定制扩散泵 分子泵等

外形尺寸:

1250*510*810mm

 

 

等离子化学气相沉积单温区PE-CVD系统TFE-1200-50-I-220信息由广州金程科学仪器有限公司为您提供。TFE等离子化学气相沉积单温区PE-CVD管式炉


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