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貨物所在地：北京北京市
更新時間：2025-03-16 21:00:24
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一、負壓或真空腔室用的氣體質(zhì)量流量計及MFC 產(chǎn)品概述：
1、精度更高，響應(yīng)更快，帶網(wǎng)口；
2、管狀分流，不易堵塞；
3、適用于各種低壓和高壓管道以及抽真空的環(huán)境；
4、預(yù)熱時間短，零漂小，可靠性高；
5、模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量；
6、數(shù)字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協(xié)議可選；
二、產(chǎn)品應(yīng)用：
真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導(dǎo)體 / 石油石化精細化工 / 電力冶金
環(huán)保 / 食品包裝 / 生物醫(yī)藥 / 新材料 / 工業(yè)制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統(tǒng)
三、負壓或真空腔室用的氣體質(zhì)量流量計及MFC 產(chǎn)品參數(shù)：
滿量程范圍：2SCCM～300SLM
準 確 度：±0.5%F.S
線 性：±0.5%F.S
重復(fù)精度：±0.2%F.S
響應(yīng)時間：流量計：＜0.1s； 流量控制器：<0.2s
數(shù) 字 量：RS232/485，MODBUS協(xié)議
模 擬 量：0～5V、4-20mA、1～5V
供 電：±15VDC，24VDC
工作溫度：0～50℃
工作壓降：<0.01Mpa(流量計）
工作壓差：0.1~0.5Mpa （流量控制器）
耐 壓：3MPa/10MPa
漏 率：1×10-9SCCSHe
溫度系數(shù)：±0.025%F.S/℃
底座材質(zhì)：不銹鋼
密封材質(zhì)：氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠，聚四氟乙烯，全氟醚FFKM/FFPM等
接 頭：φ3，φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"… …卡套、法蘭、快插、寶塔等。。。
如果所需性能要求與上述性能不同，可以溝通定制。
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