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熱式高溫質量流量控制器半導體/真空常用
  • 熱式高溫質量流量控制器半導體/真空常用

貨物所在地:北京北京市

更新時間:2025-04-10 21:00:07

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ACU20FDH-LH系列 熱式高溫質量流量控制器半導體/真空常用,多用于半導體或真空相關場景, 采用定制的高速比例控制閥,可快速精確測量高溫氣體/蒸汽的體積流量/質量流量,精度1%.

            一、產(chǎn)品概述:(熱式高溫質量流量控制器半導體/真空常用

u可快速精確測量高溫氣體/蒸汽的體積流量/質量流量

u采用定制的高速比例控制閥對介質體積流量/質量流量進行精確控制

u超大可觸顯示屏,操作方便同時開放模擬輸入輸出和RS-485數(shù)字通訊

u內部無可移動組件和熱元件,通過抗振動測試,對安裝方向不敏感

u采用內部補償型層流壓差技術,使得大流量范圍下流體仍舊保持層流運動

u提供良好的用戶支持,包括技術咨詢、快捷的設備校準服務和有條件的終身質保。

二、產(chǎn)品應用:

        -- ACU20FDH-LH系列高溫型質量流量計/控制器廣泛應用于各行業(yè)領域,如:工藝制造、食品分析、

分析性測試與計量等。

        -- 多變量測量以及50:1量程可調比,使得僅用一臺ACU20FDH-LH質量流量計&控制器便可取代多臺設備的功效。

精度1%、重復性0.2%及不到200毫秒的控制響應時間,確保過程氣體/蒸汽正常工作。


三、技術參數(shù)熱式高溫質量流量控制器半導體/真空常用


規(guī)量程范圍

氣體:100SCCM~30SLM

蒸汽:10SCCM~10SLM

精度(調零后標準條件下)±1%F·S
重復性±0.2%F·S
零點漂移&滿量程漂移0.02%F·S/℃/Atm
工作范圍/量程可調比2%~100%F·S/50:1
最大可測流量100%F·S
典型響應時間200毫秒(可調整)
啟動預熱時間<5秒
運行狀況    最大工作壓力3 MPa / 10MPa
對安裝方式/方向的要求>1L/min量程,閥門須垂直安裝
閥門等級閥門長閉
防護等級IP40
材質不銹鋼
信號單色LCD顯示屏同時顯示流量、設定
數(shù)字輸出信號RS-485/PROFIBUS
模擬輸入信號0~5VDC/4~20mA
模擬輸出信號0~5VDC/4~20mA
電信號接口DB15
供電電壓24~30VDC
供電電流0.750Amp













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