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| 供货周期 | 现货 | 规格 | WGMXMSRR2 |
|---|---|---|---|
| 货号 | WGMXMSRR2 | 主要用途 | WGMXMSRR2 |
产品简介
详细介绍
美国Entegris气体过滤器WGMXMSRR2
美国Entegris气体过滤器WGMXMSRR2
一般特征
•宽的FS流量测量和控制范围
从< 3ccm到2500 lpm (N2
当量)
•精度高达1200 lpm:±1.0%的速率(20%-100%
±0.2% FS(低于20% FS)
1200-2500 lpm:±1% FS包括线性。
(校准条件)。
•传感器稳定性行业。长期漂移
每年绩效< 0.2%。增加系统
通过减少维护和消除吞吐量
定期调整配方。
•存储多达10个可选校准曲线。
通过限制库存来减少备件库存
单个MFC/M的数量需要降低
库存持有成本。
•弹性体下端口工艺连接选项
符合ANSI/ISA SP-76标准
简化了安装和维护的效率
足迹。
控制反应:
•沉淀时间小于1秒。
(在请求)。
•软启动可用于定制MFC性能
过程的要求。
•专有的自适应阀门控制算法是
这保证了意外的变化
工艺压力不会导致流量偏离
定位点。
模拟I / O选项:
•15针D-Connector
•0(1)-5伏或0(4)-20毫安设定值和流量信号
•单面24伏直流电源
(13.5-27伏直流范围)。
•独立的阀门覆盖信号
•精密5伏参考输出信号
•与布鲁克斯0150系列型号兼容
二次电子
•TTL(开路采集器)告警输出信号
数字通信选项:
•DeviceNetTM, ODVATM认证
•FOUNDATIONTM现场总线，H1认证
•基于HART®RS-485多点传输
描述
Brooks instruments的SLA5800系列是一种弹性体
密封数字热质量流量测量和
控制仪器，提供了的灵活性
和性能。SLA5800系列MFC是
设计用于*气体处理系统。
结果是最准确的，可重复的，和
今天市场上的响应式MFC !
宽的流量范围
SLA5800系列涵盖了非常广泛的范围
的流量。SLA5850型可以有全比例的流量
低至3厘米。在50:1的高压下比下，
准确的气体流量可以测量或控制下来
ccm 0.06 !SLA5853型可以测量或控制气体
流量高达2500公升/分钟。
快速响应性能
全数字电子和*的机械
SLA5800系列中的配置提供了超
快速响应特性。沉降时间
少于一秒，但布鲁克斯的
自适应阀控可以实现响应时间的
0.2秒。
广泛的通信选项
Brooks®提供传统的0-5伏和4-20mA模拟
选项，以及RS-485数字通信(“Sprotocol"，
基于HART)。布鲁克斯还提供了控制
接口通过数字网络协议，如DeviceNet，一个
高速(高达500k波特)数字通信
网络或FOUNDATION®现场总线。布鲁克斯
通信能力和设备配置文件
通过ODVA(开放DeviceNet供应商的)认证
和ITK互操作性测试套件。其他
网络协议正在开发中。跟你的
布鲁克斯代表向您详细介绍您的具体需求。