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AE 射频电源 RFG 5500 MN3155051-015
AE 射频电源 RFG 1251 13.56MHz 1250W
AE 射频电源 RFG 1250 13.56MHz 1250W
AE 射频电源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW
| 供货周期 | 现货 | 货号 | 3155051-015 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 电子/电池,电气,综合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | AE | 型号 | RFG?5500 |
| MN | 3155051-015 | PN | 27-115617-00 |
| 输出功率 | 5000W | 频率 | 13.56MHz |
| 状态 | Refurbished |
AE 射频电源 RFG 5500 MN3155051-015, 5000W 13.56MHz, ASIS, available, in good condition, can ship. PN：27-115617-00; MN：3155051-015。
AE 射频电源 RFG 5500 MN3155051-015是经过长期验证的具有优良工艺稳定性和控制能力的高性能射频电源，能够实现对射频输出的精准控制，在半导体溅射、蚀刻、CVD、PECVD等制程工艺中具有优良表现。AE RFG 系列射频电源具有优秀的工艺稳定性和射频控制能力，能够实现对射频输出的精准控制。RFG 系列射频电源具有良好的成膜能力，成膜速度快，效率高，在半导体制程薄膜工艺中具有广泛应用，能够在一定程度上的提高产线效率和产品良率。该型射频电源整体采用了紧凑设计，小巧便捷，能够降低客户的使用成本。
RFG 5500参数规格
设备品牌：AE (Advanced Energy)
设备型号：RFG 5500
AC 电源输入：~208V，3 phase~，50/60Hz，10.0kW
RF 射频输出：13.56MHz，5000W
设备散热：水冷散热
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