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当前位置：江苏神州半导体科技有限公司>>射频电源（RF）>>KYOSAN RFK Series>> RFK150ZD-TE7-DCKYOSAN 射频电源 RFK150ZD 13.56MHz 15KW
| 供货周期 | 现货 | 货号 | WH4239 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,电子/电池,电气,综合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | KYOSAN | 型号 | RFK150ZD-TE7-DC |
| L/N | WH4239 | 频率 | 13.56MHz |
| 输出功率 | 15KW | 设备状态 | Refurblished |
KYOSAN 射频电源 RFK150ZD 13.56MHz 15KW RF Generator 是经过长期验证的具有高可靠性的射频发生器，是面向核心等离子体应用的业界前沿的可重复电源。RFK Series 射频电源整体采用紧凑型的外观设计，能够有效的降低客户的使用成本。设备主要运用于等离子蚀刻，CVD和溅射等应用，坚固耐用，为等离子工艺提供了优秀的可靠性。KYOSAN RFK系列射频电源具有优良的成膜能力，在半导体薄膜工艺中较快的成膜速度，能够在一定程度上提高产线效率，降低能源损耗，提高效益。
KYOSAN 射频电源 RFK150ZD 13.56MHz 15KW 参数规格
设备型号：RFK150ZD-TE7-DC
AC输入：3 phase ~ ，200 ~ 220V，50/60Hz，65A，25kA
RF输出：13.56MHz，15KW
谐波失真：≤ -45dB
输出：MOS-FET
输出接口：HN type
散热方式：水冷散热
水冷进水流速：8L/min
设备重量：44kg
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