ULVAC 射頻電源 RFS-1330L 13.56MHz 3000W RF Generator 射頻發(fā)生器通過實現高效率射頻放大器，結構緊湊，重量輕，自帶自動匹配控制器功能，功率控制和匹配系統控制可與主機單獨進行。主要應用領域包括濺射和化學汽相淀積、等離子體刻蝕、射頻離子源、中和劑等。

ULVAC射頻電源 RFS Series 特點

功率范圍：0.5kW ~ 5kW

采用高效放大器：通過具有良好的功率轉換效率的射頻電路結構，節(jié)約能源

高速自動匹配：用高速算法實現高速自動匹配

射頻功率發(fā)生器內部配備了自動匹配功能：與發(fā)電機組本身匹配的系統控制是可能的，還能手動操作射頻功率發(fā)生器和匹配箱，配合內部控制器操作

支持靈活的控制配置：可對外進行模擬和串行通信控制

高可靠性：設計中結合了多年的設備制造經驗

ULVAC 射頻電源 RFS-1330L 13.56MHz 3000W RF Generator 規(guī)格

AC 輸入：AC200V~220V，3 phase，50/60Hz

輸入功率/電流：≤5 kva / ≤25 A

RF 輸出：3000W，13.56MHz，50 Ohm

Max反射波功率：500W

控制精度：額定輸出±2%以下

散熱設計：水冷散熱

水冷進水需求：4L/min

尺寸大小：480 * 500 * 150 mm

設備重量：23kg