COMDEL 高频射频电源 CB250 13.56MHz 250W RF GENERATOR 是一款具有优良可靠性的高频射频发生器，CB Series 是为满足半导体加工用 RF 驱动等离子体系统的性能要求而设计的。应用包括蚀刻、RIE、平行板、ICP、RF溅射、CVD和PVD，以及工业系统中的感应和介质加热过程，以及太阳能光伏应用。

CB Series 的射频发生器功率范围为 50W~5000W，标准固定频率为 13.56 MHz~60 MHz。该系列设备的固态设计提供了精确和可重复的功率控制，超稳定的输出和低拥有成本，产品设计都基于长期累积和经过验证的射频放大器技术。

COMDEL 高频射频电源 CB Series 特点

1.CB Series 是高频射频电源

2.具有优秀的设计和可靠性

3.设备封装紧凑且轻量化

4.功率范围，50W~5000W

5.频率范围，13.56MHz~60MHz

COMDEL 高频射频电源 CB250 13.56MHz 250W 射频发生器 规格

AC输入：208V ~ ±10%，5A，50/60 Hz

射频输出：250W，13.56MHz

水冷进水需求：水流 2L/min，水压414 kPa（60 psi），水温25℃ Max