1.气体供应系统：外部的压缩空气源通过管道连接到探针台的气路系统。为保证气体质量，可能会先经过过滤装置，去除其中的杂质、水分和油污等，防止这些污染物进入探针台内部影响降温效果或损坏设备。同时，会配备压力调节装置，将压缩空气的压力调整到合适范围，以满足探针台的工作要求。

2.气冷盘等冷却部件：在探针台的关键发热部位，如样品台或卡盘下方，设置有气冷盘。气冷盘内部通常设计有复杂的气道结构。压缩空气进入气冷盘后，会沿着这些气道均匀分布，然后通过气冷盘上的出气槽或小孔，以一定的流速和角度吹出，形成均匀的冷空气流，直接作用于需要降温的部位，如样品或探针，带走热量。

3.温度控制系统：为了精确控制降温的程度和稳定性，高低温探针台配备有温度传感器，实时监测样品台或关键部位的温度。温度传感器将温度信号反馈给控制器，控制器根据预设的温度值与实际测量值的差异，自动调节压缩空气的流量或压力。例如，当温度高于设定值时，增加压缩空气流量以增强降温效果；反之，则减少流量，使温度保持在设定的范围内。

4.循环与回收系统：部分先进的高低温探针台还会设计有气体循环与回收系统。吹出的空气在完成降温任务后，通过特定的通道被收集起来，经过处理（如过滤、除湿等）后，再次送入气冷系统进行循环利用。这样可以提高能源利用效率，减少压缩空气的消耗，同时也有助于维持工作环境的稳定性。

5.腔室密封与防护：为了防止外部热空气进入和内部冷空气泄漏，探针台的工作腔室通常具有良好的密封性能。同时，可能会采用隔热材料对腔室进行包裹，减少热量的传递，进一步提高降温效果和温度控制的精度，还能有效隔绝外部的空气，防止大量的水蒸气液化形成滴露，形成干燥的工作环境。