德国spectron德国spectron减压阀E53-VCR产品特性：

• 双级式减压阀

• 减压阀可用于真空

• 高精度控制压力

• 对外界是金属对金属的密封方式

• 高表面质量

• 内置过滤器

• 绑定式膜片结构

• **小的内部空间设计以减少吹扫次数

• 电解抛光表面(与气体接触区域)

• 通过调节手轮方便地控制输出压力

• 100 % 氦气检测

• 在ISO 5.0等级的洁净室内组装

德国spectron德国spectron减压阀E53-VCR技术参数：

材料：阀体:不锈钢 1.4404 (SS 316L)

膜片: : 哈氏合金 C276

其它与气体接触零件: 不锈钢 1.4404 (SS 316L)

密封件: PCTFE 、PTFE或 PVDF

表面粗糙度：R?,** ≤ 0,25 µm

R?,平均 ≤ 0,18 µm

泄漏率：(对外): 1 x 10?? mbar l/s He

(对内): 1 x 10?? mbar l/s He

温度范围：-20°C 到 +60°C

C?-值：0,24

重量：1,7 kg

进-气接口：1/4"-VCR -M 或

1/4"-VCR -F