粗糙度測(cè)量?jī)x的工作原理:基于針跡原理的表面粗糙度測(cè)量?jī)x由傳感器、驅(qū)動(dòng)器、零位指示器、記錄器和電感傳感器組成，電感傳感器是輪廓儀的主要部件之一。傳感器測(cè)量桿的一端安裝有金剛石觸針，觸針頂端的曲率半徑R很小。測(cè)量時(shí)，觸針置于工件上，與被測(cè)表面垂直接觸，傳感器由驅(qū)動(dòng)器以一定速度拖動(dòng)。由于被測(cè)表面輪廓的起伏，接觸形狀在被測(cè)表面上滑動(dòng)時(shí)會(huì)上下移動(dòng)。這種運(yùn)動(dòng)使磁芯通過(guò)支點(diǎn)同步上下運(yùn)動(dòng)，從而改變磁芯周圍兩個(gè)差動(dòng)電感線圈的電感。傳感器的線圈和測(cè)量電路直接接在平衡電橋上，線圈電感的變化使電橋失去平衡，于是輸出一個(gè)與觸針位移成正比的信號(hào)。這種微弱電量的變化經(jīng)過(guò)電子設(shè)備的放大和相敏檢測(cè)后，就得到可以指示觸控筆位移和方向的信號(hào)。之后信號(hào)分三路:一路加零表指示唱針位置，另一路輸入DC功放，放大后驅(qū)動(dòng)錄音機(jī)錄音；另一路經(jīng)平均值表的放大器濾波放大后，進(jìn)入積分計(jì)算器進(jìn)行積分計(jì)算，這樣表面粗糙度Ra值就可以由指示表直接讀出。

測(cè)量范圍：S116：200μm， S128：400μm

分辨率：最小5nm（0.005μm）

傳感器類型電感

探頭下壓力150～300mg

使用標(biāo)準(zhǔn)：ISO，ASME，JIS等

ISO4287基本參數(shù)：Ra,Rv,Rz,Rt,Rp,Rq,Rmr,Rpc,RSm,Rz1max

Rsk,Rdq

鉆石尖半徑：缺省5μm 可選2μm、10μm