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国产质量流量控制器：采用高质量微机电（MEMS）流量传感器芯片，结合数字处理技术和工业设计，所开发的智能化气体质量流量检测仪表。该产品具有精度高、量程比大、响应速度快、集成度高等优点，同时采用电磁兼容设计和防水、防尘功能。
国产质量流量控制器技术参数：
参数说明 | |
介质要求 | 洁净干燥无腐蚀性气体 |
介质种类 | 空气、氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氧气等 |
量 程 | 0-50/100/500/1000sccm，0-5/20/50/100SLM |
精 度 | 0.5% F.S. (0.3%可定制) |
分辨率 | 0.01 SCCM |
响应时间 | ≤50ms |
环境条件 | |
介质温度 | -20~55℃ |
工作温度 | 0~60℃ |
工作湿度 | 不结露条件下0~95%RH |
工作压力 | 0~1MPa |
储存温度 | -40~85℃ |
电气参数 | |
供电电压 | DC8-24V，纹波 ≤50mV |
功 耗 | ＜1.2W（有屏幕） ＜0.3W（无屏幕） |
启动时间 | <1s |
预热时间 | 30S 偏差小于±0.5%F.S. 10min 精度 |
通信接口 模拟信号（电压） | |
电流信号 | 4-20mA (线性对应量程) |
电压信号 | 1-5V (线性对应量程) |
接口类型 | D-sub 9针 |
数字（RS485） | |
接口类型 | RJ45 |
通信速率 | 4800,9600（默认）,14400,19200,38400,56000,57600,115200, 128000,230400,256000,460800,500000（可通过指令或者上位机修改） |
协 议 | RS485（默认Modbus-RTU，可定制私有协议） |
设备地址 | 1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改) |
节点数 | 250 |
机械参数 | |
接头类型 | 卡套：8mm、12mm、 3/8 inch，快插：6mm，8mm，其他可选 |
主体材质 | 底座：7075铝合金（可选316不锈钢），外壳：钢板镀锌 |
密封材质 | FKM氟橡胶 |
防护等级 | IP54 |
重量 | 0.5kg |
在输出方面，带有工业级液晶显示屏幕，用于显示瞬时流量、累计流量等信息，并支持模拟和数字输出方式。此系列产品的量程从50SCCM到 100SLM内可选，典型精度为0.5%（0.3%可定制），输出信号可选择：4-20mA和1-5V模拟信号，以及RS485、EtherCAT, CC-Link等数字通信方式。
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