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差压式气体质量流量计5910DD4用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。
其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器
黑龙江差压式气体质量流量计5910DD4产品参数：
量程范围 | 0.2～5kg/h |
测控范围 | 流量计量程比100:1 控制器量程比50：1 |
准确度（满量程） | 气体：±0.5.0%F.S、液体±0.25.0%F.S |
稳定性 | ±0.1%F.S |
重复精度 | ±0.05%F.S |
响应时间 | <0.2s |
数字量 | RS232/485，MODBUS协议 |
模拟量 | 0～5V、4-20mA、1～5V |
供电 | ±15VDC，24VDC |
工作温度 | 0～70℃ |
压力等级 | 100bar |
最大耐压 | 3MPa/10MPa |
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