13510161192
当前位置：> 供求商机> 日本 Certas Leaga 化学气体刻蚀系统
化学气体刻蚀系统 Certas Leaga
Certas LEAGA是一种率的系统，除了Certas WING的基本性能之外，还可以满足单个平台上的多个流程需求。针对当前和下一代设备的大量生产，LEAGA具有易于配置的主机，可以进行优化，以匹配所需的应用程序。扩展了Certas系列的工艺技术，现在可以控制多种类型氧化硅薄膜中的蚀刻选择性，从非选择性到高度选择性，为从大批量生产到下一个广泛应用的关键接口提供控制一代发展。
特征
的干气去除选择性范围广的选择氧化膜
集群双晶圆腔室设计提供灵活的?？榕渲?br/>
应用
二氧化硅膜去除和回蚀
在硅接触之前进行预清洁
请输入账号
请输入密码
请输验证码
以上信息由企业自行提供，信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责，化工仪器网对此不承担任何保证责任。
温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。
