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當前位置：> 供求商機> 日本Certas Wing 化學氣體干法刻蝕機 產品關鍵詞:化學刻蝕機;干法刻蝕機多少錢一臺;刻蝕機氣體;日本的刻蝕機
Certas WING 化學氣體干法刻蝕機
“Certas WING"設計用于加工300mm晶圓，是Certas的代系統(tǒng)。這是一種 ，高產量的氣體化學蝕刻系統(tǒng)，可以在不使用清洗液的情況下進行表面蝕刻和清洗。與濕式清潔相比，已經干燥的處理單元不使用化學品，不需要昂貴的廢物處理設備，并且具有改進的可維護性。它了水印，并提供了各種氧化膜蝕刻的選擇比例，細微的界面清潔控制，與TEL清潔系統(tǒng)一起使用時具有更高的靈活性。它支持從批量生產到下一代開發(fā)的廣泛應用。
特征
的氧化膜選擇性蝕刻和氣體化學品預處理
新的腔室設計實現(xiàn)了高吞吐量（大約兩倍）和小占用空間
無等離子處理可實現(xiàn)耗材的高正常運行時間和低成本
應用
氧化硅膜的蝕刻和回蝕
硅觸點預清洗
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