VPG+800 / VPG+1100 / VPG+1400
大尺寸超高速圖形發生器
The Multi-Purpose Volume Pattern Generators

光学系统上的创新与突破-平行化曝光制程技术制版系统

VPG +大尺寸曝光系统适合用于封装，半导体，显示器，彩色滤光片，LED和触摸屏等相关掩膜版制作的应用。

VPG +系统支持所有工业等级数据化格式，并提供Mura优化功能，呈现的CD均匀性和分辨率。

VPG + 1400是我们大的系统，特别针对显示器领域和FPD的应用，例如TFT数组和彩色滤光片以及ITO。

VPG + 1400具有高精度的设备架构，分辨率低至1.2 nm的差分干涉仪及的Mura校正功能。