TS3000 Probe System 半自动300mm探针台测试系统

? ?？榱坎?- DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
? 高温度范围-60°C至300°C
? 大的灵活性
? 具有特定设计的电缆接口的与功能测试仪的小电缆距离，可实现更好的测量方向性
? 小的卡盘到工作台面高度可实现佳mmW和内部节点探测
? 通过在内部集成热系统的冷却器，将系统占地面积降至低


结合了MPI的IceFreeEnvironment™，TS3000可以在-60至300°C的宽温度范围内对300mm的晶片进行微型定位器和（或）探针卡测试，并具有在胶片框架上进行探测的附加功能。