擁有先進的半導體制造設備和不斷發展的機床精度的規模總是要求客戶提高性能。 我們根據半導體路線圖、市場趨勢和客戶需求,制定超精密規模路線圖,并致力于研發。 開發新設備和皮科米分辨率刻度時,還必須開發一個系統來評估它。
此外,設計和開發方法也必須不斷發展。 物理、化學、電氣、機械和軟件工程師正在共同努力,提高磁階和激光秤的性能。 我們的目標是保持我們的基本技術能力,并成為一個團隊,能夠快速、靈活地開發和商業化滿足客戶需求的產品。 此外,我們開發具有可靠可靠性的產品,不會辜負客戶的信任。
機械設計
使用模態分析進行
變形模擬
LSI布線的信號延遲驗證
新的磁體刻度源自磁性應用技術,是磁刻度上分辨率為 0.005 μm 的精密測量刻度。 光學刻度檢測明暗晶格透射率的變化,而磁刻度通過磁頭檢測磁性介質內部記錄的磁晶格磁通量的變化。 為了在磁尺度上獲得高分辨率,良好的磁性介質和低應變頭至關重要。
在規模方面,我們開發了高密度磁性介質,具有耐環境性,可在各種環境下使用,包括機床和工業機械。 磁頭使用 HDD 中進化的磁阻效應元件,通過*的模式設計將磁信號輸出為高靈敏度、極低失真的信號。 此外,在磁刻度上成功實現了M碼磁信號檢測的化。 頭部的信號通過專有信號校正電路消除影響精度的 D C 信號分量以及正弦和余弦信號之間的相位差和振幅不平衡,并與 M 代碼一起轉換為高分辨率、高精度的位置。
新的磁階適用于各種環境(如冷凝和油)的機床,這是光學讀取明暗晶格時無法實現的。 此外,磁垢是與鑄鐵具有相同線性膨脹系數的刻度,鑄鐵是機器的結構。 因此,即使在發生溫度變化的環境中,也能在與機器相同的溫度特性下進行拉伸,從而實現穩定、高精度的加工。
磁垢將進一步追求高精度和耐環境性能。
磁刻度記錄圖像
長精度測量設備
Magnescale原SONY工業測量產品變更通知
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