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【 產(chǎn)品特點(diǎn)】

1.軸承罩 可確保將制程氣體與軸承潤滑劑相分 離，以確保清潔的真空環(huán)境，并避免制 程氣體中的污染物進(jìn)入潤滑劑中，從而 延長軸承的使用壽命。 2.變頻器驅(qū)動(dòng) 大部分范圍內(nèi)泵性能相同，具有泵過 載保護(hù)和遠(yuǎn)程啟動(dòng)/停止功能。3. 高流量氣鎮(zhèn)特性 可以240 gh-1 的速度抽取蒸氣 (包括水蒸氣)。4. 軸向氣隙電機(jī) 減小了整體泵尺寸，并且降低了功率和 噪聲。5. 簡單的單端雙渦旋設(shè)計(jì) 可在幾分鐘內(nèi)完成維護(hù)工作，從而降低 運(yùn)行成本并盡可能延長正常運(yùn)行時(shí)間。6. 雙入口和旁通閥技術(shù) XDS35iE適用于大腔體的抽氣，防止氣 體過度壓縮，提高泵的效率和抽速，延 長軸承的使用壽命