YM-RL系列罗茨泵机组

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组成


• YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、消音器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气机组。



用途


• 冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。



优点


• •  无油、干燥、清洁。




• •  在低温领域的均热化。




• •  大抽速，可以缩短排气时间。




• •  优良的耐腐蚀性。




• •  低噪音、低震动。

YM-VD / VS系列罗茨泵机组

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组成


• YM-VD / VS系列罗茨泵机组是由油旋片真空泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、油雾过滤器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气。



用途


• •  蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、光学镀膜等。




• •  单晶炉、多晶炉、真空热处理炉、烧结炉、退火炉、淬火炉等。




• •  真空干燥、冷冻干燥、检漏设备及系统、气体回收系统、液晶注入等。




• •  冰箱、家用空调、中央空调、节能灯、背光源、自动抽空线、排气设备等。

技术参数：