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多通道微電極陣列及其制作方法
【摘要】本發(fā)明公開了一種多通道微電極陣列及其制作方法，針對現(xiàn)有的多通道微電極陣列存在的問題，通過模具內(nèi)設(shè)置的若干個微米級通孔實現(xiàn)電極絲的排列，以排除各個通道的信號互相干擾的情況；模具內(nèi)設(shè)置的通孔可以根據(jù)對多通道微電極陣列間距和通道數(shù)量的不同需要，相應(yīng)地來變換其間距和通道數(shù)量，通孔的直徑小可滿足100μm的電極絲穿入，通孔之間的小間距可達250μm；電路板的線路可以根據(jù)電極絲直徑大小的變化，相應(yīng)地調(diào)整，實現(xiàn)與電極絲的很好的連接；本發(fā)明的制作方法降低了制作多通道微電極陣列的工藝復(fù)雜度，進而降低了制作工藝的成本，并且提高了陣列的排列精度。