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TIGER_HALO KA H2O 水分分析仪
电子气中的水分分析仪
TIGER_HALO KA H2O 水分分析仪产品描述
HALO KA H2O是一款运行成本低且功能强大的气体分析仪。采用 Tiger Optics公司的基于时间的光腔衰荡光谱技术,分析仪性能稳定、无漂移且快速响应。您可以稳定、快速、精确地分析验证低至100ppt的水分含量,您会发现我们的系统非常容易安装、快速便捷、维护量极少并且内置零点验证功能。
HALO KA H2O分析仪专业于大宗气体和特殊气体中的水含量分析,包括半导体制造过程中的锗烷-氢气混合气和其他的特殊混合气。
通过将HALO KA H2O与HALO OK ppt级的氧气分析仪联合使用,同时对两种关键污染物分析控制,您将充分体会光腔衰荡光谱技术(CRDS)的诸多优势。
体积小、运行成本低、功能强大的HALO KA H2O 可实现:
z多种电子气中ppt级别的水分测量z 体积小(1个19英寸的机柜内可安装2台分析仪)
z测量(无需校准气体)
z操作简单,运行成本低
z量程广,高达4个数量级z无耗材
z 通过配置强大的Speed+ 功能对仪器性能再升级— 智能动态的数据处理系统维持低噪声的同时显著提升分析仪的响应时间。